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真空烧结炉抽真空操作需遵循以下标准化流程,核心步骤及要点如下:
?一、准备工作?
?密封性检查?
关闭所有阀门(排气阀、安全阀等)确保系统密闭。
检查炉门密封圈、管道接口是否完好,清理密封面杂质并均匀涂抹真空脂。
?设备连接?
用波纹管连接真空泵与炉体背面接口,确保紧固无泄漏。
大型系统需分高/低压侧分段操作,小型系统可直接全系统抽真空。
?二、抽真空操作流程?
?启动真空泵?
开启冷却水及设备电源,启动真空泵前需盘车并调节水封液位至中上部。
机械泵运行后逐步提高转速,观察真空表示数下降情况。
?分段抽气与洗气?
抽至目标压力(如800Pa)后,若配备罗茨泵则启动辅助抽真空。
达到正压时关闭挡板阀,通入保护气体(如氩气),重复“抽真空-充气”循环3次以置换残留气体。
?目标真空度验证?
持续抽真空至目标值(通常≤130Pa),关闭真空泵阀门。
?三、保压验收与故障排查?
?密封性测试?
关闭泵阀后观察压力回升:小型系统5分钟内压升≤67Pa,大型系统30分钟内≤133Pa为合格。
?四、安全与维护规范?
?操作安全?:
抽真空时严禁焊接,防止铜管塌陷;禁止用氧气替代氮气破坏真空。
佩戴护目镜防油雾喷溅,操作高温部件需防护。
?设备维护?:
每日开炉前开启气镇功能30分钟排出泵油水分。